太阳能电池器件与薄膜制备仪器
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| 高真空多源共蒸发设备 | 三靶共溅射设备 | |
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| Mo电极磁控溅射系统 | 金属蒸发设备 | |
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| LPCVD设备 | 单工位手套箱 | |
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| 多工位手套箱 |
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| 高真空多源共蒸发设备 | 三靶共溅射设备 | |
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| Mo电极磁控溅射系统 | 金属蒸发设备 | |
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| LPCVD设备 | 单工位手套箱 | |
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| 多工位手套箱 |